設置氮封閥注意事項: 1. 氮封閥裝置必須完整且運作良好,惰性氣體有足夠的供應。 2. 應該以有效的輸送方式將惰性氣體輸入到槽槽中。 3. 必須防止惰性氣體被污染。惰性氣體系統應該有適當的除濕設備,
以將濕度維持在絕對極小值之內。
關鍵參數表
結構材料
8100 系列氮封閥型號規則