高純度高溫壓力感測器
產品認證
應用
半導體與光伏
超高純度環境
氣體分配系統
此產品為全金屬焊接結構，可承受高達 250°C 的溫度。專為高溫壓力測量而設計，所有接觸介質的表面均經過 100% 特殊電泳處理，滿足半導體、光伏、平板顯示器、高純度/超高純氣體以及特種氣體管道應用的要求。
壓力範圍為 -14.7 至 6000 psi，並可根據客戶的特定需求提供可選範圍。
每台設備在生產過程中均經過 100% 氦氣洩漏測試，以滿足產業密封要求，並降低處理易燃、易爆、腐蝕性或有毒介質時的洩漏風險。
產品完全在 100 級無塵室中製造，並採用真空包裝，整個生產過程均經過 100% 清潔，符合 SEMI 標準。
Application Gauge, absolute, and negative pressure
Pressure Range -14.7 ... 0 ... 6000 psi
Maximum Measurement Error
(@25°C) ±0.5% FS (<160 psi: ±0.75% FS)
Overpressure 3 × rated pressure
Medium Temperature -40 ... 150 / 200 / 250°C
Ambient Temperature -20 ... 85°C (transmitter section)
Temperature Coefficient
(compensated range) <0.01% FS/°C
Supply Voltage 24 VDC (10 ... 30 VDC)
Output Signal Analog, analog + switching outputs
Process Connection 9/16-18UNF (1/4 in. VCR)
Connection Material SUS316L
Diaphragm Material 316L VIM/VAR / nickel-based alloy / Hastelloy
Long-Term Stability Typical: 0.25% FS/year
Repeatability ≤0.1%
Zero Adjustment -10% ... +10% of span
Internal Surface Roughness Ra <0.15 μm
Leak Rate ≤1 × 10⁻ ¹⁰ Pa·m³/s
Packaging Double-layer vacuum packaging; SEMI E49.6 compliant
Selection Example:
Requirement: maximum temperature 250°C, -14.7 to 250 psi, 4-20 mA output, 1 m cable between sensor probe and amplifier, 9/16-18UNF
male thread
Selected model: PK66X-HT250PNM420AVM